元素分析技術會(huì)遇到(dào)必須糾正或補償的幹擾，以獲得足夠的分析結果。
在XRF光譜測定中，主要幹擾來(lái)自(zì)物質中可能(néng)影響（矩陣效應）感興趣元素分析的其他(tā)特定元素。然而，這(zhè)些(xiē)幹擾是衆所周知(zhī)的并記錄在案；并且系統軟件中的儀器升級和(hé)數學校正可以輕松快(kuài)速地糾正它們。
在某些(xiē)情況下(xià)，樣品的幾何形狀可影響XRF分析，但(dàn)是通過選擇最佳采樣面積，研磨或抛光樣品或通過壓制顆粒，可以很(hěn)容易地進行補償。
定量元素分析
XRF光譜法使用(yòng)經驗方法（使用(yòng)與未知(zhī)物質相似的标準品的校準曲線）或基本參數（FP）進行定量元素分析。
FP是優選的，因爲它允許在沒有标準或校準曲線的情況下(xià)執行元素分析。這(zhè)使得分析人員可以立即使用(yòng)該系統，而無需花(huā)費額外(wài)的時(shí)間爲感興趣的各種元素和(hé)材料設置單獨的校準曲線。