來(lái)自(zì)X射線管的主要光子具有足夠高(gāo)的能(néng)量，從(cóng)而将電子從(cóng)最裏面的軌道(dào)中敲出，形成空(kōng)位（1）。來(lái)自(zì)外(wài)軌道(dào)的電子将移動到(dào)内軌道(dào)的新空(kōng)位，以恢複原子内的穩定性（2）。
原子 - 電子 - 熒光特征四 - 由于外(wài)軌道(dào)的電子進入内軌道(dào)，它以二次X射線光子的形式釋放(fàng)能(néng)量。這(zhè)種能(néng)量釋放(fàng)被稱爲熒光。所有元素産生熒光“特征”給自(zì)己。每個元素的熒光本身都是獨一無二的。
結果可以以百分比的形式或頻譜來(lái)查看(kàn)。 XRF将每秒處理(lǐ)（數字化，計(jì)數）約20萬個或更多個X射線。 這(zhè)些(xiē)檢測到(dào)的X射線形成光譜。 光譜中的每個峰值來(lái)自(zì)由特定元素如Cr或Ni等發射的特征x射線。
峰的高(gāo)度與元素的濃度成比例。 峰值高(gāo)度通過校準方法轉換爲該元素的百分比或ppm（基本參數或出廠(chǎng)或用(yòng)戶派生的經驗校準）