X射線熒光光譜儀（X-rayFluorescenceSpectrometer，簡稱：XRF光譜儀），是一種快(kuài)速的、非破壞式的物質測量方法。X射線熒光（X-rayfluorescence，XRF）是用(yòng)高(gāo)能(néng)量X射線或伽瑪射線轟擊材料時(shí)激發出的次級X射線。
XRF用(yòng)X光或其他(tā)激發源照射待分析樣品，樣品中的元素内層電子被擊出後，造成核外(wài)電子的躍遷，在被激發的電子返回基态的時(shí)候，會(huì)放(fàng)射出特征X光；不同的元素會(huì)放(fàng)射出各自(zì)的特征X光，具有不同的能(néng)量或波長特性。
不同元素發出的特征X射線熒光能(néng)量和(hé)波長各不相同，因此通過對(duì)其的能(néng)量或者波長的測量即可知(zhī)道(dào)它是何種元素發出的，進行元素的定性分析。射線強度與相應元素在樣品中的含量有關，因此通過測試其強度實現(xiàn)元素的定量分析。
檢測器(Detector)接受這(zhè)些(xiē)X光，儀器軟件系統将其轉爲對(duì)應的信号。這(zhè)一現(xiàn)象廣泛用(yòng)于元素分析和(hé)化學分析，在某種程度上(shàng)與原子吸收光譜儀實現(xiàn)互補。
