X熒光光譜儀是根據X射線熒光光譜的分析方法配置的多通道(dào)X射線熒光光譜儀，它能(néng)夠分析固體或粉狀樣品中各種元素的成分含量。
X射線熒光（XRF）能(néng)夠測定周期表中多達83個元素所組成的各種形式和(hé)性質的導體或非導體固體材料，其中典型的樣品有玻璃、塑料、金(jīn)屬、礦石、耐火材料、水(shuǐ)泥和(hé)地質物料等。凡是能(néng)和(hé)x射線發生激烈作(zuò)用(yòng)的樣品都不能(néng)分析，而且要分析的樣品必須是在真空(kōng)（4~5pa）環境下(xià)才能(néng)測定。
X熒光光譜儀（XRF）由激發源（X射線管）和(hé)探測系統構成。X射線管通過産生入射X射線（一次X射線），來(lái)激發被測樣品。受激發的樣品中的每一種元素會(huì)放(fàng)射出二次X射線，并且不同的元素所放(fàng)射出的二次X射線具有特定的能(néng)量特性或波長特性。探測系統測量這(zhè)些(xiē)放(fàng)射出來(lái)的二次X射線的能(néng)量及數量。然後，儀器軟件将探測系統所收集到(dào)的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。元素的原子受到(dào)高(gāo)能(néng)輻射激發而引起内層電子的躍遷，同時(shí)發射出具有一定特殊性波長的X射線，因此,隻要測出熒光X射線的波長或者能(néng)量,就可以知(zhī)道(dào)元素的種類，這(zhè)就是熒光X射線定性分析的基礎。此外(wài),熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關系，據此，可以進行元素定量分析。
近年來(lái)，X熒光光譜分析在各行業應用(yòng)範圍不斷拓展，廣泛應用(yòng)于冶金(jīn)、地質、有色、建材、商檢、環保、衛生等各個領域，特别是在RoHS檢測領域應用(yòng)得zui多也(yě)zui廣泛，是一種中型、經濟、高(gāo)性能(néng)的波長色散X射線光譜儀。
X熒光光譜儀具有以下(xià)優點：
a）分析速度高(gāo)。測定用(yòng)的時(shí)間與測定精密度有關，但(dàn)一般都很(hěn)短，2～5分鐘(zhōng)就可以測完樣品中的全部待測元素。
b）X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀态無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀态也(yě)基本上(shàng)沒有關系。大(dà)多數分析元素均可用(yòng)其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析範圍爲Be到(dào)U。（氣體密封在容器内也(yě)可分析）但(dàn)是在高(gāo)分辨率的精密測定中卻可看(kàn)到(dào)有波長變化等現(xiàn)象。特别是在超軟X射線範圍内，這(zhè)種效應更爲顯著。波長變化用(yòng)于化學位的測定。
c）非破壞分析。在測定中不會(huì)引起化學狀态的改變，也(yě)不會(huì)出現(xiàn)試樣飛(fēi)散現(xiàn)象。同一試樣可反複多次測量，結果重現(xiàn)性好(hǎo)。
d）X射線熒光分析是一種物理(lǐ)分析方法，所以對(duì)在化學性質上(shàng)屬同一族的元素也(yě)能(néng)進行分析。
e）分析精密度高(gāo)。
f）制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
當然，也(yě)有一些(xiē)不足之處，具體如下(xià)：
a）難于作(zuò)分析，故定量分析需要标樣。
b）對(duì)輕元素的靈敏度要低(dī)一些(xiē)。
c）容易受相互元素幹擾和(hé)疊加峰影響。